薄膜电阻材料的理论基础与组织结构

本文主要介绍了薄膜电阻的材料的组织结构以及理论知识，本文字数约770字，阅读完全文需8分钟。

理论基础

薄膜的形成实质上是气固转化、晶体生成的过程，它大致可以分为几个主要步骤:原子或分子撞击到固体的表面;它们被固体表面的原子所吸附或直接反射回空间;被吸附的粒子在固体表面发生迁移或扩散而移动到表面上合适的格点位置并进入晶格。这些过程以及它们之间的相互关系决定了薄膜的形成过程和薄膜的性质。

折叠组织结构

一般来讲，电阻薄膜中含有三类相位成分:绝缘相、半导体相和导电相。在现代的电阻薄膜中，这些相常呈微细分布，有的甚至是成分子线度分布的，这是因为粗分散结构会使薄膜性能不佳。

按照导电相或半导体相在电阻薄膜中的微细分布来说，这类薄膜的结构可能有三种:岛状结构、网状结构和连续结构。所谓岛状结构，是指导电微粒成孤岛状细分散于薄膜内，因而各微粒均被绝缘相所包围。网状结构是导电微粒已经互相连接成导电网络，在网络孔眼内是绝缘相。连续结构是导电微粒已经紧密堆积成连续薄膜，其中已很少含有绝缘相。在岛状结构中，小岛线度和岛间距离都是随机分布的，随着薄膜厚度的增加，小岛线度变大，岛间距离变小。具有岛状结构的电阻薄膜有很薄(厚度小于20nm)的金属薄膜和绝缘相很多(体积分数大于50%)的金属陶瓷薄膜。对于后一类薄膜，随着绝缘相所占比例的增多，导电小岛变小，岛间距离增大。在网状结构中，导电微粒相互连接成复杂的三维导电网络。网络的导电链密度及粗细都随着导电相所占比例的上升而增加。在连续结构中，虽然导电粒子紧密堆积，但是难免含有微量气隙(绝缘相)。薄膜的质量密度小于相应的块状材料就是含有气隙的例证之一。除了气隙以外，在薄膜的某些微区还可能含有固体绝缘相。因此薄膜的实际导电厚度常小于它的几何厚度。

文章来源：深圳新晨阳电子

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